Классификация установок для электронно-лучевой обработки и сварки. Основными областями промышленного применения электронно лучевого оборудования применительно к обработке и сварке являются: 1. Получение отверстий, фрезерование, резка металлов, диэлектриков. сипте;ических материалов малых толщин. 2. Получение монтажных соединений в микроэлектронных изделиях. 3. Соединение узлов электронных приборов, корпусов мощных электронных ламп, герметизация изделий микроэлектроники и электроники." 4. Сварка тугоплавких […]
Рубрика: Лазерная и электронно-лучевая обработка материалов
Лазерное и электронно-лучевое. технологическое оборудование и области. его промышленного применения
Глава ID Оборудование для лазерной и электронно-лучевой обработки 15.1. Технологические установки Широкое распространение в промыш* ленности получили технологические установки с импульсными лазерами на стекле с неодимом. В лазерных установках импульсного действия универсального типа (первое поколение лазерных технологических установок) в качестве активного материала использовались только кристаллы рубина. Технические характеристики установок на рубине приведены в табл. 15.1 […]
Контроль глубины проплавления при электроннолучевой сварке по частоте пульсаций ионного тока
В работе [1] установлена экспериментальная связь между частотой пульсаций парового потока, истекающего из канала проплавления (частотой пульсации ионного либо вторичноэлектронного токов), глубиной проплавления и степенью фокусировки ЭЛ. При сварке ЭЛ мощностью до 12 кВт сталей толщиной до 30 мм установлена линейная зависимость между частотой пульсаций ионного тока (частотой автоколебаний) и обобщенным параметром (HocJq) oCD/(?o + […]
Контроль стадий электронно-лучевого нагрева металлов
Для идентификации стадий нагрева материала ЭЛ необходимо исследовать временную зависимость силы тока, протекающего через образец, при неизменных основных параметрах электронно-лучевой обработки [10, 14]. Такие зависимости получены при ускоряющем напряжении 1/ус1. = = 20 кв, силе тока луча /л = 0-Ь — i-250 мА и длительности электроннолучевого воздействия Т= 1 МС-г-5 с для металлов W, Mo, […]
Контроль и регулирование максимальной глубины сварного шва
Довольно четкий характер кривой силы тока, проходящего через деталь и коллектор (рис. 14.6), имеющий место в импульсном режиме, для непрерывного ЭЛ не сохраняется. Происходит сглаживание кривой, но экстремум, соответствующий либо максимуму, либо минимуму силы тока термоэмиссии, сохраняется. При удельной мощности q2 я: д* кривая силы тока /м, протекающего через образец при изменении силы тока фокусировки […]
Контроль, регулирование и стабилизация параметров. электронно-лучевого нагрева при обработке
13.2. Эмиссия электронов из зоны обработки В общем энергетическом балансе электронно-лучевого воздействия помимо тепловых потерь необходимо учитывать также потери на электронную эмиссию из зоны обработки (вторичные электроны, неупругорассеян — иые, упругоотражештые [5]), световое и рентгеновское излучение. При температуре плавлення и выше для металлов существенной становится термоэлектронная эмиссия. Анализ этих потерь [4, 7, 11, 13] показывает, […]
Электронно-лучевая сварка в сборке интегральных. микросхем
‘ Монтаж микросхем. Электршшс-лу’ чевая сварка проволок с шариком на конце (обычно из золота, меди, никеля, алюминия диаметром 30—100 мкм) и тонкопленочными контактными площадками (из меди, золота, никеля, алюминия, толщина слоя 1 мкм) дает надежные и воспроизводимые (по сравнению, например, с термокомпрессионной и ультразвуковой сваркой) сварные соединения. Для оценки качества сварки при визуальном контроле соединений […]
Термические процессы электронно-лучевой техноло-. гии в микроэлектронике
13.1. Получение пленок и покрытий электроннолучевым испарением в вакууме В экспериментах [121 по глубокому сверлению металлов выбрасываемый иэ отверстия конденсат собирали на стеклянные пластины. Было установлено, что при испарении материала (алюминий, никель, титан) в режиме сверления (0< 0,1) скорость осаждения достигает 1—3 мкм/с. При этом на поверхности пленок не обнаружено капель и брызг испаряемого материала, […]
Автоколебания при нагреве металлов кпэ
Экспериментальные исследования теплового воздействия концентрированного потока энергии мощностью 10s—10’ Вт/сма на металлы показали следующее? при постоянном во времени потоке энергии возникают колебания физических параметров, характеризующих систему луч—вещество: потока пара, интенсивности светового излучения, эмиссии электронов и т. п. из зовы воздействия луча, существует критическое значение потока энергии для возбуждения колебаний: если поток энергии больше критического значеная, […]
Кинетика формирования канала
Кинетика формирования канала экспериментально исследована при U = = 20 кВ, I =■= &-=-250 мА в режиме одиночного импульса длительностью 50 мс — 5 с (рис. 12.4). Исследуемый металлический образец диаметром 30 мм и высотой 30 мм устанавливают в рабочей камере на изолятор и через резистор R2 соединяют с землей. В цепь источника включают резистор […]