Тенденции развития оборудования для на­несения покрытий связаны с расширением сфер и масштабов их практического примене­ния. В связи с этим как в области газотер­мических, так и вакуумных методов нанесе­ния покрытий наблюдается стремление к соз­данию высокоавтоматизированных и роботи­зированных комплексов, обеспечивающих, с одной стороны, высокую производительность установок, а с другой, — высокое качество на­носимых покрытий за счет строгого контроля параметров режима напыления. При этом ис­пользуется блочно-модульный принцип созда­ния таких комплексов, который позволяет оперативно создавать их многообразные моди­фикации. Другая тенденция, в частности газо­термического нанесения покрытий, состоит в разработке мобильных установок и сборно­разборных комплексов с целью проведения ра­бот по напылению покрытий по месту без де­монтажа конструкций и оборудования и созда­ния стационарных участков и цехов.

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Бартенев С. С., Федько Ю. П., Григо­ров А. И. Детонационные покрытия в маши­ностроении. Л.: Машиностроение, 1962. 215 с.

2. Белевский В. А., Кузьмичев А. И., Мельник В. И. Электронно-ионные устройст­ва для нанесения тонкопленочных покрытий / Знания. Киев: 1982. 20 с.

3. Борисов Ю. С., Харламов Ю. А., Сидо­ренко С. Л. Газотермические покрытия из по­рошковых материалов. Киев: Наукова думка,

1987. 544 с.

4. Габонич М. Д., Плешивцев Н. В., Се­машко Н. Н. Пучки ионов и атомов для управ­ляемого термоядерного синтеза и технологиче­ских целей. М.: Энергоиздат, 1986. 248 с.

5. Гребенюк В. М., Гордиенко А. В., Цап-

ко В. К. Повышение надежности металлур­гического оборудования. М.: Металлургия.

1988. 688 с.

6. Данилин Б. С., Сырчин В. К. Магне­тронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 72 с.

7. Зверев А. И., Шаривкер С. Ю., Астахов

Е. А. Детонационное напыление покрытий. Л.: Судостроение, 1979. 232 с.

8. Линник В. А., Пекшев П. Ю. Совре­менная техника газотермического нанесения покрытий. М.: Машиностроение, 1985. 128 с.

9. Лончин Г. М., Мачурин Е. С., Молин Б. П. Термообработка изделий из сплавов же­леза пучком электронов высокой энергии // Электронная обработка материалов. 1990. № I. С. 45-47.

10. Майбел Л., Глэнг Р. Технология тон­ких пленок. М.: Сов. радио, 1977. 1430 с.

11. Металлизация сталей и сплавов в ва­кууме /Под ред. Е. П. Пономаренко. Киев: Техніка, 1974. 296 с.

12. Модифицирование и легирование по­верхности лазерными, ионными и электрон­ными пучками / Под ред. Дж. Поута. М.: Ма­шиностроение, 1987. 424 с.

13. Мовчан Б. А. Электронно-лучевая плавка и испарение в современных металлур­гии и машиностроении // Сварка и специаль­ная электрометаллургия. Киев: Наук, думка, 1984. С. 259-264.

14. Мовчан Б. А., Малашенко И. С. Жаро­стойкие покрытия, осаждаемые в вакууме. Ки­ев: Наук, думка, 1983. 232 с.

15. Мовчан Б. А., Тимашов В. А. Плоско­лучевые электронные пушки для плавки и ис­парения материалов / Рафинирующие пере­плавы. Киев: Наук, думка, 1975. С. 131 — 139.Watch Full Movie Online Streaming Online and Download

16. Мовчан Б. А., Тихоновский А. Л., Ку — рапов Ю. А. Электронно-лучевая плавка и ра­финирование металлов и сплавов. Киев: На­ук. думка, 1973. 236 с.

17. Риссел X., Руге И. Ионная импланта­ция / Под ред. М. И. Гусевой. М.: Наука, 1983. 360 с.

18. Ройх И. Л., Колтунова Л. Н., Федосов

С. Н. Нанесение защитных покрытий в вакуу­ме. М.: Машиностроение, 1976. 368 с.

19. Фундаментальные и прикладные аспек­ты распыления твердых тел / Под ред. Е. С. Малашевой. М.: Мир, 1989. 350 с.

20. Холленд Л. Нанесение пленок в вакуу­ме. М.: Госэнергоиздат, 1963. 475 с.

21. Черняев В. Н. Технология производст­ва интегральных микросхем и микропроцес­сов. М.: Радио и связь, 1987. 464 с.

22.4ДІульга А. А., Дудко Г. В., Соловьев А. И. Поверхностное упрочнение сталей ШХ15 ленточным электронным лучом / Ме­талловедение и термическая обработка метал­лов. 1988. № 1. С. 54-55.

23. Электроискровое легирование метал­лических поверхностей / А. Б. Гитлевич, В. В. Михайлов, Г. В. Самсонов и др. Кишинев: Штиинца, 1985. 196 с.

24. Электроискровое легирование метал­лических поверхностей / Г. В. Самсонов, А. Д. Верхотуров, В. В. Михайлов и др. Киев: Наук, думка. 1976. 219 с.

25. Эсибян Э. М. Плазменно-дуговая ап­паратура. Киев: Техніка, 1971. 164 с.

26. Boone D. Н., Lee О., Shafer J. Н. The electron beam coating of turbine components and ion plating / 1PAT77: Proc. Conf. Ion Plating and Allied Technigues. Edinburgh, 1977. P. 141 — 148.

27. Nesterenkov V. M., Kajdalov A. A., No­vikov D. Yu. Technology and equipment for elec­tron beam Welding of power engineering compo­nents / Second Intern. Conf., Power Beam Tech­nology. Stratford upon Avon, 1990. Vol. 26. P. 171-179.

28. Physical Vapour Deposition // Airo Teh — mescal, Berkiliy, Calif. USA. 1979. 190 p.

29. Finlayson D. A. Vacuum Vapour deposi­tion as ahigh rate coating process for sheet steel / Vacuum. 1971. № 1. P. 35-39.

Глава 2