Классификация установок для элек­тронно-лучевой обработки и сварки.

Основными областями промышлен­ного применения электронно лучевого оборудования применительно к обра­ботке и сварке являются:

1. Получение отверстий, фрезеро­вание, резка металлов, диэлектриков.

сипте;ических материалов малых тол­щин.

2. Получение монтажных соедине­ний в микроэлектронных изделиях.

3. Соединение узлов электронных приборов, корпусов мощных элек­тронных ламп, герметизация изделий микроэлектроники и электроники."

4. Сварка тугоплавких и химически активных металлов толщиной от не­скольких десятых долей миллиметра до десяти и более миллиметров.

5. Соединение крупногабаритных изделий ответственного назначения из материалов, хорошо сваривающихся известными способами сварки плавле­нием, когда допускается только при­сущее электронно-лучевой сварке глубокое и узкое проплавление :t ми­нимальными деформациями и мини­мальной зоной термического влияния либо когда сварку необходимо выпол­нить в труднодоступном месте: на дне глубокой и узкой разделки кроме к.

6. Соединение изделий больших: толщин (100 мм и бат ее).

7. Сварка изделий из разнородных металлов, в том числе тугоплавких и обычных, встречающая по тем или иным причинам затруднения при обыч­ных способах сварки плавлением.

Возможность точного управления мощностью луча, его положением в пространстве позволяет осуще­ствлять соединение двух разных металлов без расплавления одного пз них, имеющего более высокую темпе­ратуру плавления (сварка — пайка). Так, например, соединяют медь с кор­розионно-стойкой сталью, медь с мо­либденом и другие сочетания металлов.

Промышленное использование пе­речисленных процессов привело к созданию большого числа элек­тронно-лучевых установок (рис. 15.20).

По степени защиты нагреваемого объекта установки делятся на три класса [21]:

высоковакуумные установки с р’- бочим давлением 1-Ю’2—1 • I0~s На и ниже;

установки промежуточного ва­куума 1- 10 Па;

установки для впепакуумиой об­работки и сварки.

Высоковакуумные установки со­держат следующие основные эле-

* § ,$

Hj — .

с: * Є

Ь 5 5

fc: S ’73

^ ЇЙ

г? fc) ^ f*i С]

4X4

5- 10-*

10-15

менты: вакуумную камеру с элек­тронно-оптической системой (элек­тронной пушкой), систему откачки, включающую форвакуумиый и вы­соковакуумный насосы, блок питания, манипуляторы, системы наблюдения.

Установки для сварки в промежу­точном вакууме, как правило, спе­циализированные, конструктивно бо­лее просты, чем высоковакуумпые. Вакуумная камера выполняется по форме и размерам обрабатываемой за­готовки и имеет минимальный объем откачиваемого пространства. В та­кого рода установках пушка имеет отдельную откачку, и ее камера при­соединяется к камере обрабатываемой заготовки только в процессе операции сварки или обработки.

Установки для пнева ку у мной об­работки характеризуются отсут­ствием рабочей камеры, мощной системой ступенчатой откачки, не­обходимостью специальной биоло­гической защиты.

Это высоковольтные установки. И хотя рабочее расстояние между пушкой и обрабатываемой заготовкой при вневакуумной обработке соста­вляет около 10 мм, концентрация мощности п фокусе луча невелика из-за интенсивного рассеяния электронов.

Установки для размерной обработки и микросварки типа ЭЛУРО предна­значены для размерной обработки и микросварки деталей электронной тех­ники, радиоэлектроники, точной механики и т. п. Как правило, они универсальны. Установки имеют следующие особенности [4].

1. При высокой стабильности параметров и достаточно большой мощ­ности формируется луч диаметром 10— 100 мкм. Это достигается использова­нием пушек с высоким ускоряющим напряжением 75—200 кВ в сочетании со стабилизированными источниками питания.

2. Управление лучом осущест­вляется электромагнитными откло­няющими системами, перемеща­ющими луч по обрабатываемой за­готовке на небольшой площади С высокой точностью.

3. Электронная пушка работает как в непрерывном, так и в импульс­ном режимах.

4. Манипуляторы обеспечивают вы­сокую точность совмещения зоны обработки с электронным лучом и дают возможность осуществлять пере­мещение зоны обработки но программе.

5. Электроприводы манипуляторов стабилизированы и обеспечивают стабильность скорости перемещения — fcl % от поминала при колебаниях напряжении сети.

6. В установках используются оп­тические" системы наблюдения за процессом обработки с увеличением 50—100х.

7. Рабочий вакуум в камере объ­емом не более 0,5 м:! составляет вели­чину не более а -10® Па. Время откачки камеры до рабочего давления 3— 15 миті.

8. Электронная пушка устанавли­вается на камере стационарно; пере­мещается объект обработки.

Техническая характеристика, установки тупа ЭЛУРО

Лнодной напряжение, кВ. .

Сила тока луча, мА…. *

Диаметр луча на обрабаты­ваемой заготовке, мкм, , .

Параметры импульсного ро­де имш

ч йстота следивани я ими \ль*

сов, кГц……………………. t

длительность импульсов, МКС Максимальное перемещение стол а в горизонтальной пло­скости по каждой оси, мм, , .

Точность установки стола, мкм Диаметр луча при работе в ре­жиме сканирующего микро­скопа, мкм

Размер обрабатываемой поверх­ности при работе луча в ре­жиме сканирована я, мм. . .

Рабочее дАплекпе в камере, Па Время достижения рабочего давления, мин

Основные факторы, определяющие нестабильность типа импульсного луча и соответственно погрешность диаметра обработки отверстия, опре­делены в работе [11].

Изменение тока электронного луча в триодной пушке установки ЭЛУРО вызвано нестабильностью ускоря­ющего напряжения U, напряжения смещения Us, модулирующего напря­жения Um, колебаниями давления оста­точных газов в пушке р, изменением температуры катода Т и геометриче­ских параметров пушки при нагреве катодного узла, особенно глубины А

погружения нити катода в отверстие управляющего электрода. Глубина погружения нити катода характери- зует потенциал запирания пушки Ut. Сила тока луча в виде функции ука­занных параметров представляется сле­дующим образом:

/ = HU. Ua, Vm, р, Т, U:).

Так как давление р в объеме пушки практически не меняется, влиянием параметра р можно пренебречь. Вли­яние температурь) Т заменяют вли­янием силы тока накала If, поскольку при постоянном напряжении лакала катода его температура определяется

силой тока накала. Тогда

1 = HU, US, Um, If> Ut).

Изменение силы тока луча А / за счет колебаний ускоряющего напряжения AU определяется из выражения А/ — = SDAU, где S = dlfdUs — кру­тизна модуляционной характеристики электронной пушки; D — проница­емость управляющего электрода, определяемая через потенциал за­пирания пушки Uг как D яь UJU. Модуляционные характеристики элек­тронной пушки ЭЛУРО для ускоря­
ющих напряжений 50, 75, 100 кВ представлены на рис. 15,21.

Нестабильность ускоряющего на­пряжения проявляется в смещении модуляционной характеристики пуш­ки (рис. 15.21). Нестабильность напря­жения смещения приводит К сдвигу рабочей точки да модуляционной характеристике. Аналогичным обра­зом действует нестабильность на­пряжения модулятора (рис. 15.21, е). Эти причины приводят к изменению силы тока на величину А/’, т. е. к изменению высоты уровня, на кото­ром располагаются вершины им­пульсов тока.

Зависимость силы тока луча / от силы тока накала катода Ij для уста­новки ЭЛУРО представлена на рис, 15.22. Отклонение силы тока луча А/’, связан нос с изменением тока накала катода, определяется но кривым рис. 15.22.

Нагрев деталей катодного узла в процессе электронно-лучевой об­работки приводит к их удлинению. Удлинение нити катода происходит в первые несколько минут после вклю­чения установки, и в дальнейшем длина ее не меняется. Однако в усло­виях длительной (в течение’ несколь­ких часов) работы катодного узла вследствие теплоизлучения с катода происходит нагрев и соответственно удлинение управляющего электрода, что приводит к непрерывному увели­чению расстояния между катодом и
управляющим электродом, изменению потенциала запирания и силы тока луча: Д/" = SAUt, где Ut — измене­ние потенциала запирдния пушки. Абсолютное изменение Л/’" является постоянной величиной, так как вели­чина тока накала катода одна и та же при всех режимах работы установки. Отклонение силы тока луча в резуль­тате изменения тока накала и нагрева управляющего электрода проявляется в виде дрейфа тока и носит характер систематической погрешности.

Расчетные и экспериментальные значения нестабильности силы тока луча Д/’, А/’, Д/’*, результирующей нестабильности Д/ и погрешность диа­метра обработки Ad представлены в табл. 15.9.

Основное влияние па нестабиль­ность силы тока луча в установке ЭЛУРО оказывают следующие фак­торы:

нестабильность источников пита­ния;

изменение потенциала запирания электронной пушки за счет изменения

тока накала;

изменение потенциала запирания в результате изменения глубины по­гружения нити катода.

В установках типа ЭЛУРО для обеспечения эффективного процесса обработки достаточно иметь неста­бильность источников питания в пре­делах {1н-3) КГ3.

Рис. 15.22. ЗаиисимОсть силы тока луча от силы тока накала катода 1П]

Установки для сварки металлов ма­лых толщин. Известны к широко при­меняются в промышленности уста­новки этого класса трех модификаций (см. табл. 15.10) (4]. Источником электронов в этих установках служит электронно-оптическая система типа А.852.04 (ускоряющее напряжение не выше 25 кВ, сила тока не более 200 мА).

Установки комплектуются столами, позволяющими выполнять прямо­линейные или кольцевые швы, а также магазинными устройствами для одно­временного размещения в камере до 12 цилиндрических деталей.

15.9. Нестабильность силы тока луча и погрешность диаметра зоны обработки в установке типа ЭЛУРО [11]

Режим обработ­ки, материал — Сталь толщиной 0,3 мм

Результаты расчета м о л у л Я Ц И ОИ Н Ы м

по экспериментальным х ар актер лети кам

Результаты

измерений

д г

дЛ

д Г

А/

м.

мкм

Д d.

мк м

А/,

О, kR

/. мЛ

■LT Д

за 20

за

за 20

за

Mkll

1 ч

МИН

1 ч

50

4

0.011

0,05

0,043

0,104

0,83

2,5

0,086

0,69

2,07

50

б

0,01

0.075

0,043

0.128

1,024

3,07

0,12

0,96

2,88

50

8

0.009

0,1

0.043

0,152

1,216

3,65

0,14

1,12

3,36

75

4

0,018

0.05

0,043

0,11

U

3,3

75

6

0,017

0,075

0,043

0,135

1,35

4,05

75

8

0,015

0,1

0,043

0,158

1,58

4,74

15.10. Техническая характеристика установок типа А.306

Техническая

Тип установки

характеристиня

А.306.05

Л. 306. 13

А, ЗОЙ. В

Ускоряющее напряжение,

25

20 (стабили-

25 (стабили-

кВ

зироиаппое)

эироваппое)

Сила тока электронного лу­ча, мА

0—200

0—100

0—200

в непрерывном режиме

в импульсном режиме

0—200

0—100

0—200

Частота’модуляции тока лу-

7; 10; 15;

5; 10; 15;

о; 10; 15; 20;

ча, Гц

25; 50; 100; 200

20; 30; 50; 100

30; 50; 100

Длительность импульса, мс

1; 2; 5; 10; 25 и 50

2; 5; 10; 15;

2; 5; 10; 15;

25; 50 и 100

25; 50 и 100

Сила тока при паводке на кромку шва, мА

Нет

3—5

3-5

Управляющее напряжение, кВ

0—3

0—2,5

0—2,8

Диаметр фокального пятна, мм

0,5

0,4

0,3

Оптимальное расстояние от нижнего торца пушки до плоскости свариваемого из­делия, мы

30—110

30 -120

30—110

Размеры рабочей камеры (внутренние), мм

500X500X500

300X300X300

500X 500X 500

Рабочее давление в камере. На

(З-г-6) 10-3

(3-Г 6) 10_3

(3-І-6) !0-=

Длительность откачки до ра­бочего давлении, с

720

720

600—720

Габариты установки, мм

1450Х1600Х

1500Х 1G00X

1890Х1950Х

X 1830

X 1860

Х2000

Масса, кг

1500

1200

2000

В перечисленных конструкциях установок предусмотрено механиче­ское перемещение в камере электрон­но-оптической системы наряду с элек­тромагнитным отклонением луча.

Взамен установок Л,305.05 и А.306.13 разработана установка ЛЭВ-80-1 [27].

Установка позволяет: получать качественные сварные соединения материалов в диапазоне толщин 0,04—5 мм;

исключать технологический брак по прожогам в случае возни кнопения пробоя в источнике питания и элек­тронно-оптической системе;

исключать путем использования безмасляных средств откачки за­грязнение сварных изделий угле­водородами,

В установке использована прин­ципиально новая электронно-оптиче­ская система, позволяющая получить без диафрагмировании электронный луч диаметром 0,1—0,2 мм и значи­тельно повысить удельную мощность луча. Регулирование и импульсная модуляция типа электронного луча осуществляются изменением анод­ного потенциала диодной пушки.

В электронно-оптической системе установки применяется быстросмен­

ный торцовый катод прямого накала. В установке предусмотрены принци­пиально новая долговечная система освещения рабочей зоны в камере, а также новый восьмипозиционный механизм вращения свариваемых изделий, биение шпинделей которого не превышает 0,01 мм.

Конструктивно установка состоит из блока питания и блока сварки, включающего рабочую камеру с при­водом вращения свариваемых изде­лий и системой освещения рабочей зоны; электронно-оптическую си­стему с системой наблюдения за про­цессом сварки; агрегат откачки с бло­ком автоматического управления па­раметрами режима СБарки.

Техническая характеристики

Ускоряющее напряже-

НІ1Є……………………………… , ,

Параметры электрон­ного луча п режимах: силе тока луча, мЛ:

23 кВ

н спр ер Ы В11 о го. ,

0— so

импульсного , . , длительность НМПУ. ЧЬ-

0 — 88

СОВ, МС * , .

длительность паyaw.

2—4 0

мс…….. .

мокоимпульсмый —

ТОК ЛУЧЯ В ІШІГУЛЬСС,

5 — 200

мА.

Регулирование величи­ны, мД тока электрон-

0—80

ного луча „ …

Измен енне анодного потенциала

Диапазон изменения анодного потенциала ЭМИССИОННОЙ системы.

эмиссионной

системы

кВ….

Размер сфокусирован­ного электронного луча

0—3

при / — 80 мА, мм, . . Внутренние размеры ра­бочей камеры (Дна-

0,2

метр X Длину}, мм. .

300X 775

Т абарпты, мм….

1100Х 1970Х 2000

Экспер иыентал ьн ме характеристи­

ки структуры электронных лучей, генерируемых в установках типа ЛЭВ-80-1, получены с использованием зондирующей молибденовой диаф­рагмы (анализатора) с отверстием диа­метром 17 мим [16] для электронно­оптической системы типа А.852.26 {ускоряющее напряжение 20 кВ, ток луча 0—100 мА),. Катод выполнен из гексаборида лантана LaBe и работает

3/Jm

рис, 15.23, Распределение платности тока в наименьшем сечении электронного лу­ча [tfi]

в режиме ограничения тока эмиссии пространственным зарядом (Т = = 1870 К).

На рис. 15.23 представлено сравне­ние расчетных (сплошная кривая) и экспериментальных значений плот­ности тока в наименьшем сечении электронного луча. По всей кривой наблюдается хорошее совпадение экспериментальных и теоретических данных. Максимальное отклонение от кривой Гаусса (6%) наблюдается только у основания кривой на уровне J = (0,05-ь-0,06) Jrn. Эти отклонения связаны с влиянием аберраций фоку­сирующей системы, вызывающих появление кружка рассеяния.

Осциллограммы, снятые в различ­ных сечениях электронного луча, показывают, что закон распределения Гаусса выполняется и на некотором расстоянии от плоскости наименьшего диаметра луча.

15.11. Техническая характеристика

П ар а метры

ЭЛУ-ЗМ

ЭЛУ-4

ЭЛУ-5

ЭЛ У-5

УЭЛС

ЭЛУ-8

Толщина сваривае­мых металлов, мм (не более):

15

коррозионио-стой-

15

15

8

10

ких и конструкци­онных сталей и

сплавов

тугоплавких метал­лов, меди и ее спла­вов

5

5

5

2,5

3

Наибольшие размеры изделий, мм:

при сварке коль­цевых швов:

диаметр

100

200

200

20

20

650

длина

200

400

2G00

2500

150

1000

при сварке торцо­вым швом в гори­зонтальной ПЛОСКО-

сти:

диаметр

250

150

70

550

высота

150

400

1500

100

длина продольно­го тива

і НО

400

400

1500

700

Рабочий вакуум в ка­мере, Па

6- кга

6- ш-3

6-10_3

6-10-9

6-io-s

6-10-®

Скорость сварки, м/ч

10- 100

5—150

2—150

5—50

0,5—150

5—100

Тип электронной пуш-

ЭП-60

ЭП-60

ЭП-60

ЭП-60А

ЭП-60/2,5

ки

Ускоряющее напря­жение, кВ

60

60

60

60

60

П ар а метры

ЭЛУ-ЗМ

ЭЛУ-1

ЭЛУ-5

ЭЛ У-6

УЭЛС

ЭЛ У-6

Максимальная мощ­ность в луче, кВт

2

2

2

2,5

2,5

Количество пушек в установке

і

1

2

1

2

Количество люков (мест) для установки пушек

1

і

1

2

1

3

Тип источника пита-

ИВ-60/4-1

ИВ-60/4-1

ИВ-60/4*2

ИВ-60/4-1

ИВ-60 4-2

ПИЯ

Общая установлен-

10

15

18

20

25

18

ная мощность уста­новки, кВт

Расход охлаждающей воды, л/ч

Расход сжатого воз-

400

400

400

700

700

700

— .

0,3

0,25

0,25

духа (р — 5 кг/см4)

іти питание гтневма-

тическнх устройств, м*/ч

Габариты вакуумной камеры (внутренний диаметр X длина), для ЭЛУ-ЗМ и ЭЛУ-1 3 (длина X ширина X X высота, мм): основной

640 X

700X

__^

1150Х

Х520Х

X 1200

X 2650

Х600

дополнительной

Габариты установки.

1700Х

3500X

600ох

12 870 X

6300 X

4900 X

ММ

Х2250Х

Х3000Х

X3000X

Х4 140Х

Х4000Х

Х3900Х

X 1580

X 2500

,Х 2500

Х2 140

X260Q

X 2575

Продолжение табл. 15,11

ЭЛУ-Э

ЭЛ У-ЗА

элу-т,

ЭЛ У-‘)К У

ЭЛУ-10

ЭЛУ-II

ЭЛУ-13

2,5

2,5

2,5

2,5

2,5

2,5

10

1

3

2

2

1

1

2

2

3

2

2

4

0

С

И В-f 0/4-

ИВ-60/4-І

ИВ-00/4 X

ИВ-00/4-2

И В-60/4-1

ИВ-60/4-1

ИВ-60/15

18

36

18

32

62,5

по

160

700

1400

700

1400

7600

11 000

16 000

0,25

0,25

0,25

0,25

0,3

0,5

0,6

1150Х X 1650

1750Х X 2400

1350Х X 2500

1600Х 1950

2 300X4 100

2 850X6 000

10 ооох

X 3 40ОХ

’70 X 1000

1150Х Х750; 770Х 7з()

950X900

800X750

Х5 400

4900 X

Х3900Х X 2400

5700 X Х4350Х Х3200

6600 X X 3900X X 3000

5480 X X 4400 X Х3100

11 ооох X 7 500X Х4 200

15 700 X X 8 ОООХ Х4 500

24 ОООХ X 9 500Х Х8 ООО

Рис, 15,24. Зависимость радиуса электрок — movo луча от силы тока возбуждения ма­гнитной линзы для различных значении силы тока луча и постоянного значения переднего отрезка Ь [16]

Кривые распределения плотности тока сняты при силе тока /п = 5, 10, 20, 30, 50 и 100 мА на расстояниях от центра фокусирующей системы {пе­редний отрезок) Ь — 81, 96, 111, 126 мм.

Экспериментальные зависимости радиуса луча в плоскости анализатора от силы тока /ф возбуждения магнит­ной линзы показаны на рис, 15.24, Каждая кривая соответствует опре­деленному току луча и имеет ярко выраженный минимум. Рост тока луча вызывает увеличение его минималь­ного радиуса. Так, при 1Л = 5 мЛ Дтіп — 0,087 мм, а при /П — 50 мЛ минимальный радиус увеличивается до 0,2 мм. Увеличение силы тока пучка вызывает смещение плоскости изображения кроссовера. Например, если в плоскости анализатора сфо­
кусировать электронный луч силон тока 5 мА в пятно = 0,087 мм и, нс изменяя тока магнитной линзы (/ф — 130 мА), увеличить силу токи электронного пучка до 30 мЛ, то радиус луча в этой же пло­скости увеличится до 0,28 мм. При этом электронный луч не будет пре­дельно сфокусирован. Для дости­жения fimin = 0,125 мм при 1:1 — = 30 мА необходимо увеличить силу тока фокусировки до 132,5 мА.

Таким образом, при регулировании силы тока пучка происходит не только изменение радиуса, по и смещение плоскости изображения кроссопера вдоль оптической оси системы. Эти особенности следует учитывать при переходе от «настроечных» к рабочим режимам.

Влияние тока пучка на величину нормального радиуса п плоскости наи­меньшего сечения показано па рис. 15.25. Эта зависимость не­линейна. Рост силы тока вызывает увеличение Ru. Здесь же пунктир­ными линиями показано изменение Rn в зависимости от величины переднего отрезка Ь при / ~ const.

Изменение радиуса луча и положе­ния плоскости изображения кроссо­вера, наблюдаемое при повышении силы тока пучка, существенно влияет на величину. максимальной плот­ности тока.

На рис, 15,26 показано изменение максимальной плотности тока в по­перечном сечении луча Jm и удельной мощности q в зависимости от силы тока пучка. Кривые имеют максимум.

Вис. 15,25. Зависимость нор­мального радиуса электронного. луча в плоскости наименьшего сечения от силы тока луча и ве­личины переднего отрезка Ь сплошные ЛИНИИ при значениях переднего отрез­ка / — #1, 2 — Об, 3 — 11, 4 — 126 мм; пунктирные линии — =-*■ f (^) при значениях силы тока луча / — 5, 2 — 30, S — 60, 4 — 80, 5 — — 100 мЛ

Рис. 15.211. Зависимость макси* мальных значений плотности то­ка /т и удельной мощности д от силы тока электронного луча и величины неродного отрезка <г: сплошные линии (;mf <7) = — f (fny. і — b — 81- 2 — Рйі З — Ilf; 4 — J26 мм; пунктир­ные линии [fm, Q) —■ Ф <^): ^ —

1п = 5; 2 — 20; Л — 20; 4 —

80 мА

положение которого зависит от величины переднего отрезка.

Если за критерий опенки элек­тронно-оптической системы прини­мать максимальную плотность тока в наименьшем сечении, то наблюда­емый характер изменении jm опре­деляет оптимальный диапазон регу­лирования общего тока. Для иссле­дуемой системы при b — 8! мм опти­мальный диапазон регулирования силы тока луча составляет 0— 50 мА.

Установки типа ЭЛУ. Гамма уста­новок типа ЭЛУ для сварки изделий малых, средних и крупных габаритов разработана. научно-исследователь­ским институтом технологии и организации производства [21],

Одна из особенностей установок ЭЛУ — это большие габариты вакуум­ных камер и специальные конструкции сварочных манипуляторов и вспомо­гательных механизмов.

В качестве электронных пушек используют системы ЭП-60, ЭП-СОМ, Э П — 5012,5, ЭП-60/ЮМ, в кл года ющие ленточный катод, прожектор сфери­ческого типа, комбинированную фокусировку. Источники питания типа ИВ-60/4, ИВ-60/15 с масляной изоляцией обеспечивают ускоряющее напряжение до 60 кВ, силу тока луча до 05, 75 и 170 мА, Диаметр пятна электронного луча ^ 0,6 мм.

В установке ЭЛУ-8 предусмотрена секционная вакуумная камера. Она состоит из трех частей —■ основной камеры диаметром 1150 мм и длиной 1650 мм, дополнительной того же диаметра длиной 1000 мм и удлини­
тельной диаметром 770 мм, длиной 1000 мм. Основная и дополнительная камеры имеют люки для установки сварочных рушек типа ЭП60/2,5. Каж­дая пушка снабжена устройством для перемещения по вертикали с учетом диаметра и формы свариваемых изде­лий.

Камера закрывается откатпой крышкой на роликах, которая может направляться по направляющим станины. Сменные сварочные мани­пуляторы монтируются на откатной крышке, а их электроприводы — на се корпусе.

Установка ЭЛУ-9 и ряд ее модифи­каций ЭЛУ-9 А, ЭЛУ-9Б, ЭЛУ-9КУ отличаются увеличенными габари­тами основной и дополнительной камер, количеством люков для уста­новки сварочных пушек, размерами конструкций сварочных манипуля­торов.

Установка ЭЛУ-10 имеет одну ва­куумную камеру диаметром 2300 мм и длиной 4100 мм. В корпусе уста­новки предусмотрены четыре люка для сварочной пушки.

Установка ЭЛУ-11 имеет камеру диаметром 2850 мм, длиной 6000 мм с шестью люками.

Установка ЭЛУ-12 имеет камеру также диаметром 2850 мм, по длиной 7200 мм.

Установка ЭЛУ-13 имеет форму поперечного сечения в виде много­угольника. Ее длина 10 000 мм, макси­мальная ширина 3400 мм, высота 5400 мм. Приводы сварочных мани­пуляторов этой установки размещены внутри вакуумной камеры.

Технические характеристики уста­новок типа ЭЛУ приведены в табл. 15.11.

(мкм).

[2] — V ЗО кВ; 2 — U •- 63 кВ; 3 —

U = 100 кВ їїJ